江南体育5月14日,无锡高新区与阿斯麦(ASML)签署战略合作协议,扩建升级光刻设备技术服务(无锡)基地。ASML在最近十几年来异军突起,超越尼康、佳能,成为光刻机领域执牛耳者。目前,最为先进的EUV(极紫外光源)光刻机,全世界仅有ASML一家能够提供。
5月14日,无锡高新区与阿斯麦(ASML)签署战略合作协议,扩建升级光刻设备技术服务(无锡)基地。
据了解,阿斯麦(ASML)光刻设备技术服务(无锡)基地涵盖两大业务板块——技术中心和供应链服务中心。其中,技术中心拥有近200人规模专业团队,从事光刻设备的维护、升级等技术服务,面积约2000余平方米;供应链服务中心则为客户提供高效的供应链服务,为设备安装、升级及生产运营等所需的物料提供更高水准的物流支持,面积约2000余平方米。
众所周知,光刻机为半导体制造的核心设备,也被誉为“工业皇冠上的宝石”。而ASML在最近十几年来异军突起,超越尼康、佳能,成为光刻机领域执牛耳者。目前,最为先进的EUV(极紫外光源)光刻机,全世界仅有ASML一家能够提供。
对于ASML在无锡扩建光刻设备服务基地,一位半导体业内人士对《每日经济新闻》记者表示:“因为光刻机比较‘精密’,所以设备运过来之后,装调也是相当重要的一个环节。一般大件、精密、高价值(的设备)都得有专人维护着,比如飞机发动机等,需要有定期的检修之类。(光刻机)出厂,先船运、空运到安装地,然后放着等待技术人员装调。以前尼康、佳能的光刻机,光是装调就需要几个月,至少不低于1个月。”
对于装调的重要性,其表示:“光学设备和其他装备不大一样,光学设备一般都有人数较多的装调团队,并且装调也是光学设备里面一项重要工作,ASML在193nm就是靠装调PK掉了日本的尼康和佳能。”
该业内人士进一步认为,无锡基地200人的专业技术团队也不一定够,“(光刻机)这种娇贵的东西,一般维护都很费劲”。另外,据其估计,ASML无锡技术服务基地将不仅仅服务无锡,而是整个长三角地区。
据记者不完全统计,目前长三角先进制程(28nm及以下)半导体工厂有中芯国际上海基地(包括中芯南方14nm)、南京台积电工厂、无锡SK海力士DRAM工厂、合肥长鑫DRAM工厂等。另外,近期华虹半导体无锡基地12英寸生产线nm FSI工艺平台产品投片。
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